DLW-RD-Photonics是一款專為光子芯片集成領(lǐng)域設(shè)計(jì)的高性能激光直寫(xiě)設(shè)備，擁有高精度納米級(jí)3D加工能力與高精度定位對(duì)準(zhǔn)能力。設(shè)備配備高精度的共聚焦掃描系統(tǒng)和熒光探測(cè)系統(tǒng)，確保在光子芯片表面精確對(duì)準(zhǔn)3D打印。Nanostudio軟件配備功率補(bǔ)償功能，可實(shí)現(xiàn)在芯片端面的高精度加工，消除聚焦遮擋區(qū)域的影響，為光子芯片集成領(lǐng)域的微細(xì)結(jié)構(gòu)提供精準(zhǔn)打印。