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在半導(dǎo)體芯片的納米級(jí)光刻車間,一臺(tái)全自動(dòng)顯影機(jī)正以0.1℃的溫控精度完成晶圓顯影,其藥液循環(huán)系統(tǒng)每分鐘處理100升顯影液,確保每一片晶圓上的電路圖案誤差不超過2納米;在醫(yī)療影像中心,X光片通過全自動(dòng)顯影機(jī)的紅外掃描系統(tǒng),在90秒內(nèi)完成從曝光到顯影的全流程,為急診患者爭(zhēng)取關(guān)鍵救治時(shí)間。全自動(dòng)顯影機(jī)的技術(shù)演進(jìn)經(jīng)歷了三個(gè)階段:機(jī)械自動(dòng)化階段:早期設(shè)備通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳送輥,配合定時(shí)器控制顯影時(shí)間,但溫度波動(dòng)常達(dá)±2℃。例如,某型號(hào)傳統(tǒng)顯影機(jī)采用25℃恒溫槽,但實(shí)際運(yùn)行中因...
隨著科技的不斷進(jìn)步,微納制造技術(shù)在半導(dǎo)體、光電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的重要性日益凸顯。三維直寫光刻機(jī)作為一種先進(jìn)的微納制造設(shè)備,憑借其高精度、高靈活性和無需掩模版的特點(diǎn),成為現(xiàn)代微納制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。三維直寫光刻機(jī)(3DDirectWriteLithography)是一種非接觸式光刻技術(shù),通過直接在光刻材料上寫入圖案,而無需使用傳統(tǒng)的掩模版。其基本原理包括:1.光源:通常使用高能量激光作為光源,如紫外光(UV)或深紫外光(DUV),這些激光束可以精確地照射到光刻材料上。2.光學(xué)...
無掩膜直寫光刻設(shè)備是一種強(qiáng)大的工具,它通過數(shù)字控制光束直接在基板上形成圖形,擺脫了對(duì)物理掩模版的依賴,帶來了靈活性和設(shè)計(jì)迭代速度。無掩膜直寫光刻的核心在于“直寫”和“無掩膜”:?直寫:?聚焦的激光束、電子束或其他類型的能量束(如離子束)直接在光刻膠表面移動(dòng)掃描,按照設(shè)計(jì)好的圖形圖案曝光光刻膠。?無掩模:?圖形的圖案信息以數(shù)字文件的形式存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中,并通過精確的空間光調(diào)制器或光束偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)控制光束的開關(guān)和位置,代替了傳統(tǒng)的光學(xué)掩模版來定義圖形。目前主流的有兩種技術(shù)路線:...
無掩膜光刻(MasklessLithography),也被稱為直寫光刻(Direct-WriteLithography),是一種不同于傳統(tǒng)光刻技術(shù)的先進(jìn)制造工藝。在傳統(tǒng)的光刻過程中,需要使用預(yù)先設(shè)計(jì)好的掩膜版來定義圖案,這些掩膜版成本較高且制作時(shí)間較長(zhǎng)。相比之下,無掩膜光刻直接通過計(jì)算機(jī)控制光束(如電子束、離子束或激光)在光敏材料(光刻膠)上繪制所需的微細(xì)圖案,無需使用物理掩膜版。無掩膜光刻的主要特點(diǎn):1、靈活性高:由于不需要物理掩膜,可以在短時(shí)間內(nèi)對(duì)圖案進(jìn)行修改和調(diào)整,特別...
三維激光直寫系統(tǒng)是一種先進(jìn)的微納加工技術(shù),它利用高度聚焦的激光束在材料表面或內(nèi)部進(jìn)行精確的圖案化處理。這種技術(shù)能夠在不需要掩膜的情況下直接根據(jù)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)模型制造出復(fù)雜的三維微觀結(jié)構(gòu),因此在微電子學(xué)、光子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)工程、納米科技等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。工作原理三維激光直寫系統(tǒng)通常使用飛秒激光器或皮秒激光器產(chǎn)生超短脈沖激光。這些激光脈沖具有高的峰值功率和非常短的作用時(shí)間,可以在不影響周圍材料的情況下實(shí)現(xiàn)對(duì)焦點(diǎn)處材料的精確改性或去除。通過精密控制激光束的位置和強(qiáng)度...
微納3D打印是一種先進(jìn)的制造技術(shù),它能夠在微米(百萬分之一米)和納米(十億分之一米)尺度上創(chuàng)建復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)。這項(xiàng)技術(shù)結(jié)合了傳統(tǒng)的3D打印概念與微納加工技術(shù)的精度,使其在生物醫(yī)學(xué)、電子器件、光學(xué)元件等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。一、技術(shù)原理微納3D打印通常依賴于光聚合技術(shù),通過精確控制光源(如激光)來固化液態(tài)光敏聚合物(樹脂),從而逐層構(gòu)建出所需結(jié)構(gòu)。這種技術(shù)的一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn)是能夠?qū)崿F(xiàn)很高的分辨率,使得所打印結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可以達(dá)到微米甚至納米級(jí)別。此外,還有一些基于電化學(xué)沉積、噴墨打印...
2025年3月31日,第二十屆中國國際科學(xué)儀器及實(shí)驗(yàn)室裝備展覽會(huì)于北京中國國際展覽會(huì)(順義館)盛大啟幕。作為推動(dòng)我國科學(xué)儀器及實(shí)驗(yàn)室裝備技術(shù)創(chuàng)新的重要展會(huì)之一,展會(huì)匯聚了1000多家展商,展示面積超4萬平方米。魔技納米科技誠邀您蒞臨E1館E190展位,共享實(shí)驗(yàn)室儀器裝備、光學(xué)儀器、生命科學(xué)儀器等專業(yè)領(lǐng)域的前沿技術(shù),共探行業(yè)新發(fā)展。前沿三維微納制造技術(shù),彰顯國產(chǎn)化實(shí)力新高度魔技納米科技的研發(fā)團(tuán)隊(duì)擁有超過十年的微納三維制造技術(shù)經(jīng)驗(yàn),成功攻克了微納制造領(lǐng)域的三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)超高精度(≤...
2025年3月11日,第二十屆慕尼黑上海光博會(huì)(LASERCHINA2025)于上海新國際博覽中心榮耀啟幕。作為亞洲備受矚目的光電技術(shù)展,本屆盛會(huì)云集全球幾十個(gè)國家和地區(qū)逾千家企業(yè),共襄光電技術(shù)盛宴。魔技納米科技攜關(guān)鍵技術(shù)及裝備亮相N2-2436展位!魔技納米科技致力于為客戶提供三維微納制造領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)設(shè)備與整體解決方案,自主研發(fā)生產(chǎn)的三維微納加工/納米3D打印設(shè)備、超快激光微納加工中心及無掩膜直寫光刻設(shè)備,將重新定義三維微納制造的產(chǎn)業(yè)邊界,構(gòu)建多維度、寬寫場(chǎng)、跨尺度的納米級(jí)集...
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